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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆产出线智能化的超软水模式,每天都在有含硅生活污水150吨。生活污水面虽无高价属,但硅含碳量高易水垢,且阻值率需提高18MΩ·cm就能够中水回用。原来的净化处理工学艺无非具备新实施的《智能电子行业水破坏物的直接排放标》(GB39731-2020)特意的直接排放卫生防护距离。 生产废水化学成分优缺点 注意环保问题物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、小粒硅(粒度0.1-1μm) 特俗标准 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 污水水质性能 :低电阻率(<50μS/cm)但硅有机物底部形态比较复杂 办理工艺技术工作流程 多元化选用"梯级膜离心分离+电去铝离子"结合工艺技术: 微滤预外理 :1μm陶瓷图片膜电话拦截大颗粒物硅,通量形成80LMH 阴阳离子调换树脂材料 :D201大孔不饱和树脂选泽性物理吸附硅酸团伙 特殊RO设备 :弟一段回笼率60%,最后段用高脱硼膜元器件 EDI电去阴离子 :电压硬度2A/m²,不断除去残留物铁离子 UV紫外线消菌 :254nm红外光谱线使用量40mJ/cm² 科技闪光点 开发建设专业阻硅剂(有机肥料胺类组合物),廷迟膜环境污染周期公式3倍 EDI模块图片技术创新流道定制,硅避开率不断提升至99.8% 上线硅分享仪(检测领域0.1-500μg/L)达到脱贫攻坚有效控制 工作转化效果 经3.方检查测量: 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L低于0.3μg/L 装置收废率从原40%加快至68% 膜调整周期长提高至5年,年使用成本价减低35%

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