该厂为89英寸晶圆产出线智能化的超软水模式,每天都在有含硅生活污水150吨。生活污水面虽无高价属,但硅含碳量高易水垢,且阻值率需提高18MΩ·cm就能够中水回用。原来的净化处理工学艺无非具备新实施的《智能电子行业水破坏物的直接排放标》(GB39731-2020)特意的直接排放卫生防护距离。
生产废水化学成分优缺点
注意环保问题物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、小粒硅(粒度0.1-1μm)
特俗标准
:TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L
污水水质性能
:低电阻率(<50μS/cm)但硅有机物底部形态比较复杂
办理工艺技术工作流程
多元化选用"梯级膜离心分离+电去铝离子"结合工艺技术:
微滤预外理
:1μm陶瓷图片膜电话拦截大颗粒物硅,通量形成80LMH
阴阳离子调换树脂材料
:D201大孔不饱和树脂选泽性物理吸附硅酸团伙
特殊RO设备
:弟一段回笼率60%,最后段用高脱硼膜元器件
EDI电去阴离子
:电压硬度2A/m²,不断除去残留物铁离子
UV紫外线消菌
:254nm红外光谱线使用量40mJ/cm²
科技闪光点
开发建设专业阻硅剂(有机肥料胺类组合物),廷迟膜环境污染周期公式3倍
EDI模块图片技术创新流道定制,硅避开率不断提升至99.8%
上线硅分享仪(检测领域0.1-500μg/L)达到脱贫攻坚有效控制
工作转化效果
经3.方检查测量:
总硅从280mg/L降低0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L低于0.3μg/L
装置收废率从原40%加快至68%
膜调整周期长提高至5年,年使用成本价减低35%